在真空裝置自動控制中，經常采用一些通用自動控制元件，有機械、電氣、氣動、液壓等類型。例如，按鈕、開關、信號燈、繼電器、接觸器、熔斷器、限位開關、變壓器、電機、控制電機、氣動閥、液壓閥、液壓缸等，還采用一些工業自動化儀表(如溫度、壓力等測量與控制儀表)、白動控制裝置(如可編程序控制器等)以及單片機、微型計算機、工業控制機等。

 

這些通用的自動控制元件、自動儀表、自動控制裝置及計算機，均可在相關的專用手冊中查到。除此之外，還廣泛采用專用的真空自動控制元件、真空計、壓力控制儀、真空閥及真空調節閥等。