真空裝置是有關工業生產和科學實驗中的重要機械設備。人們經常要按照一定的要求將真空裝置中的真空泵啟動或停止，將其真空閥門打開或關上，或者使真空裝置中的真空室中的壓力按照預先規定的量值進行變化。上述真空裝置的操作過程及真空室中壓力調節過程稱為真空控制。控制的主體是人，或者是代替人的職能的控制裝置。

早期的真空裝置控制為手動控制，后來，隨著科學技術的發展，真空裝置控制從手動控制逐步發展為自動控制。所謂自動控制，實際上是對手動控制的一種模擬，在沒有人直接參與的情況下，使真空裝置自動地按照預定的程序或規律運行，從而使真空工藝過程穩定，提高產品質量和勞動生產率，減輕勞動強度，防止事故發生。

在大型的真空裝置及真空工程中，除要求真空泵、真空閥門能按照預定的順序自動地運行，真空室的壓力能按規定的量值進行自動調節外，還要求真空工藝流程能自動切換，能自動地完成電壓、電流、溫度、束流、膜厚、張力等參數的數據采集、處理、顯示及控制。這樣，不僅增加了需要檢測的參數，而且有的參數變化很快，允許波動的范圍縮小。在這種情況下，若不用自動控制，真空裝置就難以運行，其真空工藝也就無法完成。因而，在設計真空裝置時，必須關注真空裝置的自動控制，提高真空裝置的自動化水平。

       真空裝置自動化水平的高低，已成為反映裝置技術水平的主要標志之一。真空裝置實現自動控制，從而實現真空工藝過程的自動化，使真空工藝過程安全、平穩、優質、高效。早期，我國真空裝置圭要是用繼電器、接觸器及相關儀表，輔之以手動操作，完成真空系統及真空工藝過程的程序控制、互鎖、超限報警等。20世紀80年代以后，計算機控制廣泛地應用于真空裝置的自動控制中，真空裝置的自動化水平前進了一步。近年來，集管理與真空裝置控制于一體的計算機集成綜合自動控制系統得到發展，這將為真空設備制造廠的車間自動化及工廠自動化奠定基礎。