外延技術是一種制備納米半導體薄膜的新技術，采用該技術可以制備出結晶取向與襯底完全一致而且品格結構完整的納米半導體單晶薄膜。典型外延技術有氣相外延(VPE)、液相外延(LPE)和分子束外延( MBE)。
       近年來，金屬有機氣相外延(MOCPE)、等離子體輔助外延(Ⅳ正)、原子層外延(ALE)、選擇區域外延(SAE)及金屬有機分子束外延即化學束外延(CBE)等技術在納米半導體薄膜的制備中日益受到關注。