極高真空裝置真空系統的結構及特點
發布時間:2019-05-07 19:18:55 | 人感興趣 | 評分:3 | 收藏:
用液氮冷凍鈦升華阱的方法可獲得10^-lIPa的壓力,這種極高真空裝置的系統芻構示意圖,如圖16-57所示。該系統由主薯液器、極高真空室、加熱裝置、冷凍裝置及抽氣設備等組成。主容器包括內殼和外殼兩部分,均由不銹鋼制成。外殼尺寸為+900mm×1600mm,內殼尺寸為+600mm×1000mm。
內外殼之間的空間稱為“夾層”,內裝管狀加熱器和液氮冷卻的紫銅盤管。極高真空室由不銹鋼制成,尺寸為+400mm×500mm,其結構為雙壁式的,用以貯存液氮。在極高真空室的內部和外部,各裝有一個鈦鉬合金絲做的鈦升華阱和泵。出口處裝有一個百葉窗式的擋板。測量用裸調制BA規和裸彎注規。
加熱裝置包括管狀加熱器和空氣加熱器兩部貧。前者用來加熱外殼、內殼和極高真空室;后者用來烘烤主擴散泵上面的液氮冷阱。冷凍裝置由氟里昂制冷系統和開式液氮供給系統組成。用以冷凍主擴散泵上面的擋板及端法蘭的橡膠密封圈和供給冷阱、內殼和極高真空室液氮。
抽氣設備由三個相互獨立的分系統組成,即“夾層”抽氣系統、“隧道”抽氣系統和“主”抽氣系統。“夾層”抽氣系統是真空保護系統,工作壓力為10^-3Pa~10_5Pa,其作用是減小漏氣和漏熱。“隧道”系統是測量引線的保護真空通道,該系統內的壓力為10^-4Pa—l0^-5Pa。主抽氣系統同主容器和極高真空室相連,由機械泵、KY-11和KY-13兩級擴散泵、人字形氟里昂擋板、液氮冷阱、兩級百葉窗擋板、冷凍鈦升華阱及鈦升華泵等構成。
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