極高真空設備中的冷漏現象及其消除方法:實驗內容與方法
發布時間:2019-05-07 19:19:55 | 人感興趣 | 評分:3 | 收藏:
液氦低溫泵在使用過程中的溫變特性十分突出,盡管在泵的制作和初調過程中曾反復進行過冷熱沖擊實驗,但由于種種原因(例如多次溫變、振動、承載等),往往還會在焊縫或密封連接處出現“冷漏”現象。因此,在低溫泵正式注入液氦前還必須反復對該泵進行冷熱沖擊考驗。本手冊由真空技術網提供,僅供行業技術交流使用,請勿用于商業用途。
(1)重復性冷熱沖擊試驗
①烘烤前對系統進行殘氣質譜分析和氦質譜檢漏;
②系統烘烤升溫(約300℃,100h);
③系統自然冷卻(到室溫);
④系統強迫冷卻:在液氮膽內注入液氮,在液氦膽內注入液氮;
⑤觀察系統真空度變化及殘氣成分變化(質譜圖)。
(2)漏孔位置的確定及消除孔的方法
通過殘氣質譜分析,當確知系統因反復冷熱沖擊而產生“冷漏”時,應s*先確定漏孔的位置,然后,再設法消除漏孔。
①用四極質譜計檢漏法確定漏孔位置;
②用超高真空補漏膠噴涂堵漏法消除金屬焊縫處的漏孔;
③用法蘭壓緊法消除可拆密封連接處的漏孔;
④用液氮浸泡法檢驗噴涂堵漏法的密封效果;
⑤用氦質譜檢漏法檢驗法蘭壓緊法的密封效果。
(3)穩定性冷熱沖擊竇驗
①長時間連續烘烤保溫(約200℃,110h);
②系統自然冷卻后逐一對每個焊縫和密封法蘭進行檢漏;
③系統強迫冷卻,在液氮膽內注入液氮,在液氦膽內注入液氮;
④對系統進行殘氣分析和氦質譜檢漏。
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