圖10-200是能量為10MeV的靜電加速器真空系統原理圖。加速管主泵為抽速400L/s的汞擴散泵，由于沒有油蒸氣，使加速管和離子源避免了污染。鑒于相同的理由，擴散泵的前級泵——油封機械泵進氣口設有液氮冷阱，以防油蒸氣進入擴散泵中。由于加速管較長，采用兩端抽氣。整個真空系統用15個真空機組抽氣，各真空系統均可以用插板閥隔開來，進行單獨檢修。離子傳輸管道使用濺射離子泵抽氣。真空度測量使用熱偶規、電離規及冷陰極電離規。