圖16-46是液氦低溫泵緒構示意圖。圖16-47是該系統構成示意圖。實驗對象是液氦低溫泵本身及其測試罩。該測試罩以法蘭直接與低溫泵相連，其上法蘭有調制BA規，用來測量系統真空度。殘余氣體分析和系統檢漏采用帶倍增器的四極質譜分析儀（QMG-101型）。低溫冷卻使用液氮。