測量鈦鉬和鈦鋯絲蒸發參數:實驗結果
發布時間:2019-05-07 19:21:01 | 人感興趣 | 評分:3 | 收藏:
實驗中系統未烘烤,吸氣面水冷(12℃)或液氮冷卻,水冷時冷阱不加液氮。升華鈦后,系統壓力小于5.33×10^-6Pa,如液氮冷卻吸氣面時,壓力進入10^-7Pao
①出氣成分是新燈絲900℃去氣時用四極質譜計分析的。從表16-14中(已扣除本底成分)可見,主要是Hz、甲烷、CO等。鈦鋯絲的氫出氣量要比鈦鉬絲大(這可能與生產工藝有關)。900℃下去氣40min基本徹底。
②吸附容量是在燈絲徹底去氣后關擴散泵閥,然后恒電壓蒸發5min(膜厚28nm左右),恒流充入被測氣體,記錄測量罩中的壓力隨時間的變化,由抽氣曲線(圖16-45)計算吸附容量(表16-15)。實驗時起始壓力1Pa~6.6×10^ -5Pa(液氮冷卻),水冷時為1Pa~6.6×10^-4Pa。
③粘著系數是在擴散泵隔離打開和關閉,燈絲連續蒸發和間斷蒸發等四種情況下,分別測定膜面為12℃和78K下對N2和H2的粘著系數。在鈦絲充分去氣并扣除開閥時擴散泵抽速后,四種情況下起始粘著系數相差不大。故取其平均值與國外的數據相近。測量中出現N2、H2的抽速比泵口的流導還大,這可能是束流效應的影響。
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