吸氣劑對各種氣體的粘著系數和吸附容量是評定吸氣劑性能的主要參數。粘著系數表明單位吸氣面積上所能產生的抽速。吸附容量表明在給定分壓下吸氣膜所具有的有效抽氣時間。因此這兩個參數對確定系統中某一時間內各氣體的分壓起重要作用。
　　
　　粘著系數是指和吸氣表面相碰撞的氣體分子（或原子）被吸附的概率。吸附容量反映鈦單位質量能吸附的氣體量。它們是氣體種類、壓力、膜溫等多變量的函數。從國外所測結果來看，即使材料、氣體、膜面濕度相同，其所測值變化仍很大。這說明，測量結果還和膜沉積條件、基底性質、表面狀況等有很大關系。Harra在評述以前工作結果的基礎上給出了他認為合理的粘著系數與吸附能力的數據。Hagward等人也曾對金屬膜測定吸附概率的設備作了嚴密評定。但是這些條件在一般工程上難于實現。盡可能減小測量誤差又接近于工程應用情況而建立的粘著系數測量設備，也可同時測吸附容量和出氣成分。