所謂過濾，就是使濾布等多孔性過濾介質的兩側產生壓力差，由過濾介質截留濾漿中的固體粒子，從而將液固兩相分開。而真空過濾是利用過濾介質一側的真空源與濾漿一側的大氣壓之間的壓力差(通常為4.9×10^4Pa—6 .68×10^4Pa)進行過濾的。真空過濾的機理，多數屬于濾餅過濾，個別屬于深層過濾。用來實現真空過濾的是真空過濾機和其它附屬裝置。真空過濾機分為連續式和間隙式兩類。附屬裝置有：洗滌裝置，目的是為了減少濾餅中的可溶性鹽分；濾餅干燥裝置，目的是為了減少非壓縮性濾餅的濕含量；泵類．真空泵多采用水環真空泵和羅茨泵，水蒸氣噴射泵也可作為真空源；吸收塔，如果吸入真空泵的空氣中含有腐蝕性或毒性氣體，則用填料塔、板式塔等將其吸收；此外還包括煙霧分離器、鼓風機和壓縮機等。