液氦冷凝泵實驗系統組成
發布時間:2019-05-07 19:23:33 | 人感興趣 | 評分:3 | 收藏:
實驗系統由冷凝泵、測試罩、前級抽氣系統、烘烤系統、冷卻系統、減壓系統、充氣系統和四極質譜計分析系統以及真空度測試系統等部分組成,圖16-27給出了該實驗系統的示意圖。
①測試罩。本體由不銹鋼制成,它與冷凝泵直接 13相連(通過螺栓)。其上裝有調制BA規和彎注規,用以一測量真空度。在測試罩的側面還裝有供充氣用的連接法蘭以允許各種試驗氣體進入冷凝泵。需要指出的是盡管測試罩內壁作了拋光處理,但它在室溫下的放氣z*終將成為泵的很大一部分附加氣源,將影響冷凝泵z*佳真空度。
②前級抽氣系統。由濺射離子泵、分子篩吸附泵、機械泵和一些超高真空閥門等構成。分子篩吸附泵或機械泵為濺射離子泵提供必要的啟動壓力,并作為冷凝泵初始烘烤階段的排氣泵。啟動濺射離子泵后,系統真空度可達10-7Pa。
③烘烤系統。由可拆式烘箱(內部裝有管狀加熱器)和纏繞式加熱帶組成。溫度測量采用鎳鉻一鎳鋁熱電偶。烘烤溫度一殷控制在300℃左右。
④冷卻系統。由液氮杜瓦車、輸液管道、氮氣穩壓裝置等部分組成,用以供給補充冷凝泵液氮容器內的液氮。此外,液氦冷凝器預冷時亦是用該冷卻系統供給液氮的。
⑤減壓系統。是通過適當抽空低溫介質(液氮或液氦)所在空間的氣體而達到進一步降低介質溫度目的的裝置。它由機械泵、排氣管道、節流閥及真空壓力表等部分構成。節流閥能調節機械泵抽速的大小,從而控制貯液槽上方介質蒸氣的壓力。經驗表明,節流閥初期,開啟程度對液氦減壓能否順利進行具有至關重要的作用。貯液槽上方介質的蒸氣壓力是用精密真空表測量的。根據測得的這一壓力可確定介質經減壓后的z*終溫度。圖16-28和圖16-29分別給出了氦和氮蒸氣壓與溫度關系的曲線。
該系統的抽氣機組由機械泵、五氧化二磷干燥瓶及兩級串聯的擴散泵等組成。系統真空度一般可達10-4Pa。為了地確定進氣量的大小,使用兩只經嚴格校準(原位進行)的不同流導的標準漏孔。為了保證充入氣體的質量,除使用高純度氣體外,在每次進氣前還用該系統抽氣機組反復將充氣系統抽至高真空進行氣體置換。
四極質譜計分析系統由四極桿探頭和QMGl01型四極質譜計等部分組成,該儀器z*小可檢分壓力為10 -11Pa。該系統用于整個實驗過程中的殘余氣體分析及微小漏孔的檢測。
真空度測試系統包括測量規管和測試線路兩大部分。測試規管采用Balzers制造的IMR103型調制BA規和蘭州物理研究所研制的彎注規(敷氧化釷鎢燈絲)o所用測試線路分別為IMG040型數字顯示的自動控制電離計和日本制造的TR84型振簧式靜電計。上述規管和線路都經真空一級計量站校驗過。
您看到此篇文章時的感受是: