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液氦冷凝泵的結構特征
發布時間:2019-05-07 19:23:39 | 人感興趣 | 評分:3 | 收藏:
  貯槽式液氦冷凝泵主體由鍍銀的不銹鋼液氦冷凝器(其底面為低溫抽氣表面)及帶有液氮冷障板的液氮容器構成。


  
   
  (1)液氦冷凝器
  
  液氦冷凝器由底(抽氣面)和內外圓筒構成,材料為不銹鋼。底表面是鍍銀的,因為銀是迄今所使用的材料中能產生z*低氫氣飽和蒸氣壓的材料,又因為銀又是z*好的紅外反射材料,為了進一步減小輻射熱負荷,所以液氦冷凝器的外壁也是鍍銀的。
  
  在液氦冷凝器內外筒之閭的空間里充人大約50540Pa的氖氣,可起到一種“熱開關”的作用。如前所述,隨著溫變過程的進行,既能使冷凝器外壁很快冷卻下來,又能提供z*終所希望的真空絕熱。
  
  (2)冷障板
  
  采用液氮溫度下的人字形障板。因為這種障板的分子和熱輻射傳輸的綜合性能非常適合于液氦冷凝泵的特點。其主要作用是能大大減小到達冷凝抽氣面的室溫輻射量。這不但有助于克服冷凝氫氣的反常行為,亦能大大降低液氦的損耗。另一方面,增加障板必然降低泵的抽速。因此,二者必須適當兼顧。為使前者效果明顯,后者影響較小,整個障板表面作了陽極化發黑處理(經測其發射率≥0.9),而障板角度選為1206和909兩種形式。當采用900人字形障板時,測得抽氣表面對氫氣的比抽速為8 .4L/S.crrr2。
  
  (3)中間屏
  
  根據液氦冷凝泵的熱負荷計算,如果頸管設計合理(壁薄而管長),則由此引起的傳導熱只占總熱負荷的較小部分,而絕大部分熱負荷是由液氮壁面的熱輻射引起的。另一方面,在正常消耗過程中不斷蒸發而成的離散氦氣的冷量,絕大部分不能被充分有效地利用而白白流失掉。為此,在液氦冷凝器與液氮容器之間增設一中間防輻射屏,由離散的冷氦氣予以冷卻,其平衡溫度可達30K,遠詆于液氮溫度。這樣既能充分利用氦氣的冷量,又能大大減小輻射引起的液該屏組件由不銹鋼制成,屏筒壁厚為0 .8mm。屏的外表面是鍍銀的,以使整個屏筒具有良好的熱傳導性;同時,能減小所吸收的輻射熱負荷。屏的內表面作了發黑處理,以保證由冷障板發出而進入冷凝器和中間屏之間環形間隙的輻射熱僅有一小部分被吸收在氦冷凝器壁上。無疑,在這種情況下,可大大減小冷凝的液氦損耗,因而能提高泵的使用壽命。然而,卻增加了泵的制作難度。
  
  (4)液氮容器
  
  液氮容器由雙層不銹鋼筒制成,夾層內充入液氮以使其冷卻到大約77K。該夾層液氮貯量為17L。該容器內外壁經鍍銀處理,以減小表面的發射率。在結構上,冷障板通過螺釘聯接同該容器底部固定在一起,并且通過熱傳導使之冷卻到所要求的溫度。為了進一步減小液氦損耗及抑制氫氣的解吸效應,可通過液氮減壓,以降低壁表面和障板溫度的方法來實現。
  
  (5)外容器
  
  外容器亦即泵的z*外層筒(由不銹鋼制成)。由于其內壁(處于室溫狀態)是該泵的主要放氣源,因此,在很大程度上決定著泵所能達到的z*好真空度。
  
  為了盡可能減小壁表面的放氣速率,采取高真空爐退火去氣的處理工藝。去氣規范是溫度為1000c,工作壓力范圍為10^-3Pa—10^-4Pa,保溫時間約8ho泵整體組裝后,還要在300℃~350℃和10-4Pa下原位烘烤數十小時,再冷卻到室溫,此時泵壁面的放氣速率可大大減小,因此能獲得極好的真空度。
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