真空氣相干燥設備VPD的主要工藝過程為：
　　
　　①準備階段。將變壓器放在真空罐中抽真空，使真空罐中的壓力降到700Pa以下，同時蒸發器中用水蒸氣排管對煤油進行加熱，使蒸發器中的溫度達到115℃，煤油壓力為該溫度下煤油飽和壓力，約為10^4Pa。
　　
　　②加熱階段。真空系統停止工作。蒸發器中的煤油蒸氣靠壓差涌入真空罐對變壓器進行加熱，冷凝后從真空罐底排出，返回蒸發器，形成一個循環。隨著真空罐中溫度的升高，煤油蒸氣不能完全冷凝而造成聚積，絕緣材料中的水分也開始排出來，以水蒸氣狀態聚積在真空罐中；再加上少量的空氣可能漏人真空罐，使真空罐中壓力逐漸升高。這些混合氣體進入冷凝系統進行冷凝。然后再進入蒸發器形成第二個循環。靠這兩個循環，使真空罐中的變壓器逐步加熱。
　　
　　③降壓階段（或叫低真空級段）。停止煤油蒸氣往真空罐中輸送。把真空罐中的煤油和混合氣體排出真空罐，把殘留在絕緣材料中的煤油重新蒸發。
　　
　　④高真空階段。利用主真空系統對真空罐抽真空。z*終壓力要達到10Pa以下。因為在高真空階段以前，絕緣中95%以上的水分已經排除，所以高真空不需要很長的時間。確定高真空結束亦即干燥過程結束的重要條件是，絕緣材料的出水率達到每噸絕緣材料每小時少于10g，即≤10g/ht。