為建立清潔的真空系統，吸氣劑真空泵有了很大發展。在各種具有吸氣性能的材料中性能優良的吸氣劑應具有：①低的蒸氣壓，易蒸發成膜；②對多種氣體有合適的抽速，且生成物穩定，蒸氣壓低；③吸氣材料的含氣量小，純度高，易制得且便宜；④可加工性能好。
　　
　　鈦是吸氣材料中z*好的一種。因此，各種結構的鈦升華泵常應用于清潔真空的獲得上。
　　
　　但在結構簡單的電阻加熱升華器使用中發現，用鈦合金作升華燈絲，比纏繞式純鈦升華燈絲具有重復性好、壽命長的優點，且在蒸發后仍有良好的電氣、機械性能。近十幾年來，對鈦鉬和鈦鋯合金絲蒸發參數和吸氣性能作了廣泛研究與測定：一氧化鈦在低溫下吸氣性能比純鈦好，對氬有較大的抽速。金屬系統中低壓力下主要出氣成分是氫。在濺射離子泵中，用多元吸氣劑優于單一成分的吸氣劑。
　　
　　對國產鈦鉬合金(85%鈦，15%鉬)絲和鈦鋯合金（85%鈦，15%鋯）絲（均由上海鋼鐵研究所提供）的蒸發參數和吸氣性能作了仔細測定。這些數據經實驗設備中多年使用，證明是比較可靠的，并運用所給出公式計算泵昀電氣參數，也符合工程實際。