真空減壓系統的設計
發布時間:2019-05-07 19:29:19 | 人感興趣 | 評分:3 | 收藏:
減壓系統是通過適當抽空低溫介質(液氮或液氦)所在空間的氣體而達到進一步降低介質溫度目的的裝置。它由機械泵、排氣管道、節流閥及真空壓力表等部分構成。節流閥能調節機械泵抽速的大小,從而控制貯液槽上方介質蒸氣的壓力。經驗表明,節流閥初期,開啟程度對液氦減壓能否順利進行具有至關重要的作用。貯液槽上方介質的蒸氣壓力是用精密真空表測量的。根據測得的這一壓力可確定介質經減壓后的z*終溫度。圖16-28和圖16-29分別給出了氦和氮蒸氣壓與溫度關系的曲線。
充氣系統示意圖如圖16-30所示。該系統的抽氣機組由機械泵、五氧化二磷干燥瓶及兩級串聯的擴散泵等組成。系統真空度一般可達10^4Pa。為了地確定進氣量的大小,使用兩只經嚴格校準(原位進行)的不同流導的標準漏孔。為了保證充入氣體的質量,除使用高純度氣體外,在每次進氣前還用該系統抽氣機組反復將充氣系統抽至高真空進行氣體置換。
四極質譜計分析系統由四極桿探頭和QMGl01型四極質譜計等部分組成,該儀器z*小可檢分壓力為10^11Pa。該系統用于整個實驗過程中的殘余氣體分析及微小漏孔的檢測。
真空度測試系統包括測量規管和測試線路兩大部分。測試規管采用Balzers制造的IMR103型調制BA規和蘭州物理研究所研制的彎注規(敷氧化釷鎢燈絲)。所用測試線路分別為IMG040型數字顯示的自動控制電離計和日本制造的TR84型振簧式靜電計。上述規管和線路都經真空一級計量站校驗過。
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