真空浸泡后油峰有所增加的事實表明，從油蒸氣對容器所造成的污染來說，除泵正常運轉中的返流外，在系統沒有隔離閥的情況下，主要是系統在真空浸泡期間發生的。因為這時泵已停止工作，失去了抽氣作用，而系統仍處于真空，原先吸附障板冷面上的大量返流物會因升溫而解吸，幾乎是毫無阻礙地返進容器重又吸附于器壁上。這樣，在下一次運轉中，由于污染物的解吸很緩慢，使系統的清潔程度變壞，也大大延長了抽氣時間。此外，真空靜置期間，泵液也可能通過蒸發、爬移等途徑對容器壁造成污染。克服這一問題的方法除在系統中設置隔離閥外，簡便可行的方法是采用充氮保護。