充氮保護是指擴散泵停止工作后，在冷阱中液氮去除前，即通過針閥向容器充入氮氣，保持約13.3Pa的氮壓力下吹除液氮和停氟里昂機，然后停機械泵，系統在約O.1Pa氮壓力下浸泡。圖16-24和圖16-25分別為系統經充氮和不充氮處理，靜置12h后，運轉條件和時間完全相同時冷阱注入液氮前后的剩余氣體質譜圖。可見采用充氮保護運轉后，除氮、水峰外，重質量數油峰顯著降低，極限真空也相應提高。