z*簡便的方法就是真空浸泡。系統分別在暴露大氣和真空浸泡24h后，相同運轉條件下(障板、冷阱不冷凍)，系統真空度分別為8×10-4Pa和1.86×10-5Pa。靜態升壓法測定系統總放氣率分別為4.26×10-1Pa.L/s和1.35×10-2Pa.L/s。質譜分析表明，暴露大氣后系統主要剩余氣體是水。它不僅影響系統的極限真空，而且嚴重影響機械泵粗抽時間的真空度。真空浸泡后系統水峰大大降低，但油峰有所增加。