圖16-23是系統經250℃，8h烘烤，阱加液氮4h后的質譜圖。全壓力為舅06×10-8Pa。在烘烤過程中氟里昂障板一直冷凍以降低返流。

       除H2(2.4× 10-8Pa)、C(5.06×10-9Pa)、CO和N2(1.6×10-9Pa)外，泵液返流檢測不到，H2約占剩余氣體的78.3%。可見烘烤對去除表面的返流污染效果是很好的。
                                      

實驗表明：在剩余氣體中，C(m/e= 12)主要來自規管和質譜計的鎢燈絲。表16-10是全壓力約為2.5×10-7Pa下，BA規燈絲關閉和打開情況下剩余氣體譜峰離子流的變化。可見影響z*大的是C。