圖16-20是系統不烘烤、障板和冷阱均不冷凍時、全壓力為2.5×10-4Pa時的質譜圖。本系統剩余氣體主要由四部分組成。

①系統表面放氣。主要是水、氫、氮和一氧化碳等，其主峰分別為m/e=18、2、28。

②機械泵的返流。機械泵返流成分的質譜分析表明，機械泵油(化學結構式：)的裂解峰族為C。H2村+1，返流主峰為m/e=43。圖16-20中從質量數15開始，質量數相差14的烴基(CH2)峰族(27、29;41、43;55，57;69、71;83…)的存在，表明是機械泵的返流。

 

③擴散泵的返流。現用擴散泵液為三甲基五苯基三硅氧烷(簡稱275硅油)，化學結構式為：

在圖16-21中為主峰197，特有苯峰族51、52、77、78、甲基峰15和大質量數碎片峰92、105、120、152、182、197、259、333等。
 

④其它。包括密封“0”圈、灰塵等臟物的放氣和清洗用的有機溶劑。如乙醇和丙酮峰(主峰分別為46和43)亦明顯可見。

表16-8為典型油擴散泵系統阱、障板不冷凍不烘烤時剩余氣體組分和分壓。由于實際質譜圖中所包括的各種成分，其主峰和碎片峰互相重疊，而且同一質荷比的峰包含了多種成分。

同時，一種成分的離子譜與系統條件、分析手段也有關，為此表16-8的數據僅反映了大致的比例。

 

在動平衡狀態下，泵液全部返流組分的壓力p服從抽氣方程為泵對容器的返流量，S為系統對返流物的抽速(簡化計算時用主峰抽速)，已知系統對氮抽速約300L/s，機械泵和擴散泵在冷阱面(≯200)上的返流率分別為