油擴散泵系統獲得極高真空時，氣體質譜分析的實驗系統如圖16-19所示。液氮阱以上的部件由不銹鋼制成，金絲密封。冷阱下法蘭以下用丁腈橡膠密封。擴散泵泵體為碳鋼，使用275硅油，機械泵使用泵油。四極質譜計為Balzers產QMG-101型。總壓力由B-A規管讀取。