利用比較容易凝固的氣體冷凍成霜層，在低溫下把冷凍的氣體抽去的泵叫深冷霜吸附泵。若固化層很慢地生長，可以得到一個微孔表面，Yuferor和Kobzegv已經在2K—4.2K下用CH4、N2、02、Xe、Kr、A、C02的冷凝霜抽氦。

村上利用催化反應的原理，提出把殘余氣體中的氫、氧化成水蒸氣再予以排除。排除氫的泵是由一個冷到液氮溫度下的阱和反應器組成。在反應容器中高溫的錸絲和釔絲上的H2解離成原子態氫，和氧化亞銅表面作用生成水蒸氣。水蒸氣由液氮阱捕獲，使H的分壓變得很低。對H2的抽速是和絲的表面積、H2的解離概率以及原子態氫和氧化亞銅的反應概率的乘積成比例。當然這種泵必須和其它泵(如擴散泵、濺射離子泵、冷凍泵等)組合使用。用化學催化機理制做吸氣泵是應該注意的方向，特別是在極高真空范圍更有現實意義。村上提出的催化泵結構如圖16-18所示。有人提出了一個5000L/s酌催化泵的設計方案。它的缺點是高溫燈絲的存在限制了極限壓力的降低。抽速也不易做得很大。