把吸氣劑冷凍到低溫下，發現其吸氣量增大，吸附氣體的粘著系數也增大。它比單獨光滑金屬面冷凍到同樣低溫下的吸氣效果要好得多。通常把這種泵叫做冷凍吸附泵。眾所周知，把分子篩冷凍到液氮溫度下可以做清潔無油的前級真空泵。同樣，假定把分子篩冷卻到20K以下，在平板的冷凍面上能有效地抽除He、Ne、H2。在20K下對氫的吸附概率為1，在SK下對氦也是1。把5A分子篩冷卻到4.2K，用它抽氦是有效的。在10-5Pa—10-6Pa范圍給出的吸附概率為0.7—0.91，其吸附概率隨分子篩溫度變化曲線，如圖16-17所示。
