冷凍升華鈦是指將鈦膜蒸發在77K以下的冷面上。它具有大的抽速及低的極限壓力。
　　
　　它在極高真空中工作時，由于加熱放出大量氣體，鈦膜的飽和時間很長，泵主要工作在加熱蒸發以后的冷態，故極限壓力低。z*近有人測定了鈦膜的解吸壓力，證明解吸壓力在室溫下低于10-10Pa，如圖16-15所示。該泵的優點是結構簡單，抽速大，尤其是容積泵，在容器的周圍鍍上鈦膜，周圍都是吸氣膜，接近一個分子沉的環境。它的作用不僅是抽氣，而且還有減小放氣和防止返流的作用，既有泵的作用又有阱的作用，是空間模擬器和極高真空獲得中不可少的泵。低溫下鈦膜對氫有較大的抽速，而不銹鋼系統烘烤后的殘余氣體主要是氫。缺點是對惰性氣體抽速很小，因此必須和其它泵配合。