擴散泵的優點在于對惰性氣體有較好的抽氣作用。有人測定擴散泵在非常低的壓力下(至少到10-13Pa)，對氦的抽速仍保持不變，擴散泵對付惰性氣體是有效的。因此，盡管擴散泵是有油的泵，仍有許多極高真空系統用它作為主泵。從文獻報導來看，10-12Pa以下的系統幾乎都采用了擴散泵。但是擴散泵返流引起的油的污染限制了它的應用。影響擴散泵系統極限壓力的另一個因素是氫的壓縮比。圖16-14給出了擴散泵的入口壓力和出口壓力的關系曲線。如果泵液采用無油液體，使用擴散泵是獲得極高真空的很理想的抽氣手段之一。