極高真空的獲得是建立在超高真空技術之上的。在非常低的壓力下，維持泵的抽氣作用是個重要問題。由于多數真空泵在超高真空范圍內抽速就開始降低，因此許多真空泵在極高真空范圍其抽氣作用已經停止或者大大地減小了。選用一些在非常低的壓力下仍然有實際抽速的泵是能否獲得極高真空的關鍵。有些泵（如油獷散泵）的抽速并不減小，但由于工作介質、材料放氣等因素，使得要獲得低于泵的極限壓力的工作壓力非常困難。為此使用這類泵時，在利用它抽氣的同時，也要用阱阻擋泵的返流。