由于目前泵的極限壓力都不是太低。因此，極高真空系統中，阱的設計是極為重要的，設計的重點在提高阱的捕獲效率。捕獲效率為，的阱，分子穿過阱面跑到真空室的概率為
              　　
　　式中G是阱的幾何因子；乜為粘著系數；G決定于氣體分子通過阱時發生的那一次彈性碰壁的概率。若阱的設計能保證所有氣體分子都在和阱發生至少一次碰撞后才允許通過，那么就有
          　　
　　依次類推。G-般是0.01的數量級。由式(16-18)可以看出，要提高阱的捕獲效率必須從兩個方面著手：①增加氣體分子和阱壁的碰撞次數，減小幾何因子G值。但這使得阱的流導變小。只能在兼顧阱的流導的情況下減小G;②增大粘著系數口。由于它是的關系，效果顯著。主要途徑是降低阱的溫度和涂以吸氣材料。冷凍鈦升華阱就是一種深冷吸附阱。如果a=0.99，由式(16-18)得阱的穿過率為當a=0.999時， 如果阱只允許兩次碰撞后才能通過，則擴散泵抽氣系統工作期間油的穿過引起的分壓力將低于10-13pa。