金屬材料中不溶解稀有氣體，如氦、氖等，這對獲得極高真空是有利的。雙原子分子是在解離成原子后才溶解的，n=1/2即單位時間單位面積滲透的氣體量和壓差的平方根成比例。
　　
　　滲透率K的量鋼為用表示，滲透量Q的量鋼為用表示。金屬材料中氣體的擴散系數、滲透率如圖16-6及圖16-13所示。不銹鋼中氫的擴散系數和滲透率由表16-3給出。這些數字說明，由不銹鋼中放出的氣體中，主要成分是氫。特別是經很好地去氣以后，99%的殘余氣體為氫。因此，氫的滲透是獲得極高真空的困難之一。表16-4和表16-5給出了大氣中的氫通過不銹鋼滲透及不銹鋼放氣速率的一些數據。實用上認為，氫的放氣速率下限為為了減小氫的放出，把鎢帶加熱到1220K以上，觀察到了其中溶解的氫以原子態放出。這個現象可以認為是在極高真空中用質譜計經常測到的大量的發生的原因。