如圖，假定器壁兩側的壓力分別為P1和p2，器壁滲透面積為A。在平衡狀態下，器壁兩側溶解氣體的濃度分別為按擴散方程，在穩態下由濃度差引起的質量流量
         
        式中K= Dk稱為滲透率，即在壓差105Pa下，單位時間通過單位壁厚在單位面積上滲透的氣體量，單位為cm2／s或m2／S。假定容器壁的面積為1000cm2，厚0. 1cm，抽速為1L/s。欲獲得10-8 Pa和10-13Pa的真空度所允許的滲透率的上限值示于表16-2。