有人用熱化學平衡理論處理真空系統的殘余氣體的相互作用，建立了由它們剖起的平衡壓力方程式。然后用熱力學的方法求出這些反應產生的氣體的平衡分壓力，這是處理真空系統殘余氣體的一個新的嘗試。 　　 　　利用系統內或表面上發生化學反應的事實，可以用來減少難以排除的氣體，即通過化學反應將難以排除的氣體轉變為易于排除的氣體。村上義夫提出把殘余的H2氧化成水蒸氣，然后用液氮冷阱把水蒸氣抽除掉，就是這方面的一個努力。