低真空電子束焊接機具有真空系統簡單，設備成本低，使用方便，更換被焊零件后抽氣時間短，對被焊零件清洗要求低等優點。
　　
　　低真空型電子束焊接機的真空系統必須滿足如下幾個要求：
　　
　　①槍室和焊接室之間的壓差要足夠的大，以保證槍室的工作壓強不高于6.6×10 -2Pa，而且要保證電子槍的陰陽極區域的氣壓盡可能穩定。
　　
　　②焊接室的工作壓力處于低真空狀態，但要保證：電子束在工件上的穿透能力接近高真空條件下的穿透能力；在低真空狀態下的焊接氣氛要保障達到優良的焊縫冶金質量。
　　
　　③電子柬在低真空區飛行的距離盡可能短，以減少電子束的散射損失。
　　
　　由于在氣體中飛行的電子同氣體分子和其它粒子間會發生相互作用，又由于核電場的作用，會造成部分電子偏離原來的路線，這一類的離散叫彈性散射。電子的彈性散射又同氣體分子的種類、氣體密度、電子能量（或加速電壓）以及電子飛行的路程有關。國外在這方面作了不少研究工作。大量實踐都證明了加速電壓為60kV時，電子束飛行距離為500mm左右。當焊接室壓力為3Pa—4Pa時，電子束在工件上的穿透能力基本上同高真空條件下一樣。當焊接室壓力升高到6.6Pa時，仍能得到非常滿意的穿透性能。
　　
　　當焊接室壓力為4Pa時，如果把所有殘余氣體分子都作為雜質來看待，則氣體的當量純度達到40×10-6，這比起商品供應的z*純氬氣（純度約為50×10-6）還要好一些。從真空冶金角度來看，焊接室壓力為4Pa—6.6Pa時，對于絕大多數金屬材料來說，去除焊縫中的雜質，提高焊縫的冶金質量可以達到相當滿意的結果。
　　
　　HDZ - 6A型中壓低真空型電子束焊接機的真空系統如圖10-133所示。

  　　為保證槍室和焊接室之間具有足夠的壓差和電子槍的工作穩定可靠，槍室真空系統選用了有效抽速為150L/s的JK-150型高真空機組，槍室和焊接室之間設置了一個經綜合考慮的氣阻管。
　　
　　為了更換被焊零件后只需較短的抽氣時間，特別是保證焊接室在滿功率工作狀態下具有不高于4Pa的壓力，焊接室選用了一臺2X-30型機械泵作為前級泵，一臺ZJ-150型機械增壓泵作為主泵。