真空系統內必須使用銅時，z*好用真空冶煉的銅，避免用電解銅。用銅管作水冷管或作傳輸低溫液體管時，因反復烘烤而發生氧化，容易引起故障。鎢、鉬、鉭z*好也用真空冶煉的，放氣量小。其它材料使用前也應進行真空預出氣處理。由于同一理由，焊接時z*好不采用銅焊、銀焊，因這些焊接工藝中要使用一些蒸氣壓較高的焊藥。
　　
　　有沒有比不銹鋼更適宜的極高真空系統的材料呢？鋁已被用來制造加速器等大型真空裝置。但鋁材由于多孑L性含有較多的氣體、商溫強度較低、比較難以焊接等缺點，所以用作真空容器的局限性很大。然而，鋁在室溫下對氫的滲透率約為300系不銹鋼的10-7，因而在不銹鋼上蒸101cm厚的鋁膜，使氫滲透的放氣量減小105倍。鋁復合在不銹鋼上可用做電子管電極材料。只要充分注意治煉和煅造，鋁有希望成為極高真空系統用的材料。