真空裝置的放氣源有：表面吸附氣體的脫附，溶解在材料內部的氣體通過擴散而放出，材料的蒸發、分解、解離，氣體和固體表面進行化學反應而生成的氣體。在極高真空系統中，材料的選擇是十分重要的。一般用不銹鋼、銅、無氧銅、鎢、鉬、鉭、金、銀、硼硅氧玻璃等，它們有一定的強度，化學性穩定，蒸氣壓和分解壓低。而橡膠、油脂、普通塑料、黃銅（含有蒸氣壓高的鋅）、低溫合金（含錫、鉛合金）等都不宜采用。
　　
　　根據不同放氣源和材料的關系，我們可以深入探討影響材料放氣的因素，材料放氣影響極限壓力的程度以及如何減少它。