VFC - 524 - R(S)真空爐是美國伊普森公司的產品，簡介紹下。
　　
　　(1)技術性能
　　
　　額定功率：207kW;
　　
　　額定電壓：380V(三相、50Hz)，58V(三相、50Hz)；
　　
　　允許使用的溫度范圍：500℃—1315℃；
　　
　　溫度穩定性：±5℃；
　　
　　加熱方式：電；
　　
　　極限真空度：4.6×10-4Pa;
　　
　　工作真空度：1×10-3Pa;
　　
　　泄漏率：1×10-1Pa· L/min;
　　
　　有效均溫區：長×寬×高= 910mm×610mm×610mm;
　　
　　z*大裝載量：270kg;
　　
　　爐內壓力自動調節范圍：6.6Pa—1×10-1Pa：
　　
　　允許使用的冷卻氣體：高純氬氣和氧氣；
　　
　　冷卻水消耗量：正常2. 5m3/h，快速8m3 /h；
　　
　　每爐冷卻氣體消耗量：6m3；
　　
　　每爐壓縮空氣消耗量：0.2m3；
　　
　　冷卻方式：真空冷卻、氣體冷卻、氣體風扇快速冷卻；
　　
　　抽氣速率：機械泵141.6L/s，擴散泵118L/s;
　　
　　升溫速率：在100℃—1200℃／h內分四段式無級調節。
　　
　　(2)結構形式
　　
　　伊普森VFC- 524 - R(S)型真空爐是一種臥式單室（加熱冷卻在同室進行）冷壁爐、其結構主要由爐體、加熱室、抽氣系統、電氣控制部分、附件五大部分組成。
　　
　　①爐體：如圖10-124所示，爐體是一個具有水套結構的雙壁鋼質圓筒。前門與爐體用0型橡膠圈密封。水套結構的內壁和外壁分別用不銹鋼和碳素鋼制成。爐體右側壁有三個法蘭，用以安裝工作熱電偶校準熱電偶及電離規。爐體左側壁上也有三個法蘭，一個用以安裝超溫控制熱電偶，其余兩個用盲板封住，作為檢測時用。在真空室的頂部裝有一個18.4kW真空密封的風扇電機，真空室底部有一個用來充中性冷卻氣體和調節爐內壓力的氣孔。在真空室的后部右側壁上有一個與機械泵相接的排氣口，在真空室前部右側有與高真空閥連接的排氣孔。在后部有控制加熱室上塞蓋作橫向運動的氣缸、安全報警喇叭和排水管、匯水槽。在底部有控制加熱室下塞蓋作縱向運動的氣缸。在爐體左側壁上有三根電流匯流排，引入加熱室。
　　
　　②加熱室：加熱室是由5mm厚的不銹鋼板作殼體，用50mm厚的氧化鋁纖維襯里，并用鉬片和鉬鉤固定。如圖10-124所示，12根40mm的石墨棒在加熱室頂部均勻分布。爐床由高強度石墨構件組成。加熱室有前門和上下蓋，在加熱室外部與冷壁之間有四個銅質熱交換器，在加熱室外壁有6根銅質冷卻水管。加熱室整體是利用兩個導輪懸掛在真空室內。

　　③抽氣系統：如圖10-125所示。抽氣系統包括：一臺7.5kW抽速為141L/s的STOKES412H型單級旋片式機械泵，加熱電爐功率為12.25kW EDWARDS HS 20型三級分餾式油擴散泵，一個油塵分離器，一個冷阱和高真空閥。在高真空閥頂部有控制高真空閥開關的氣缸、壓力表、手調中性氣體進氣壓力開關、手動空氣釋放閥、兩個熱電偶真空計測量頭，一個氣體壓力計。
　　
　　
　　④電氣控制部分：電氣控制部分主要由電源和控制柜組成。電源是一個磁飽和電抗器和控制變壓器。在一個三開門式控制柜內主要包括：長圖溫度記錄儀、真空計+長圖真空記錄儀、超溫溫度調節器、程序控制器、加熱電流控制器、擴散泵油溫控制器、3個單相加熱電流表、差值放大器、功率放大器、冷卻速率控制系統、時間繼電器、電磁閥、操縱按鈕、轉換開關、各種指示燈、限位開關、聯鎖裝置、聲光指示報警裝置。
　　
　　⑤附件：主要包括置于爐體底部的16kW60℃水加熱器、電離真空計、8m3的中性氣體儲存罐、液壓裝載小車、加熱室維修架、氦質譜檢漏儀。
　　
　　設備自動化程度高。設備啟動后，機械泵s*先對抽氣管道預抽真空3min～5min(由時間繼電器控制)，然后自動對真空室抽真空。當爐內壓力達到6.6Pa以后，又自動轉換（機械泵一油塵分離器一擴散泵）對真空室抽真空。當爐內壓力達到工藝要求時便開始升溫。伊普森程序器自動控制加熱速率、保溫溫度、保溫時間。設備在未啟動前，按照工藝規程操作，當爐內壓力達到要求之后，則自動進行加熱一保溫程序。保溫結束后按三種方式（真空冷卻、氣體冷卻、風扇冷卻），五種冷卻速率（真空冷卻，氣體回火冷卻速率、氣體淬火冷卻速率、風扇回火冷卻速率、風扇淬火冷卻速率）自動冷卻。保護和連鎖系統相當完善，任何一部分發生故障都能自動停機，同時發出聲和光的報警信號，便于查找故障。例如4×104Pa觸點確保風扇電機在低壓下不燒毀。
　　
　　設備維修方便。石墨棒加熱元件可單件從爐室直接更換，整體加熱室可用托架移出真空室外，進行修理。控制柜導線接頭布局整齊，標記清楚，一旦出現故障，便有聲光信號指示，易于尋找故障源。其它元件更換也方便，例如鉬片可單片更換，大大降低了設備的維修費用。