開始抽氣以前，容器及管道、冷阱等部件內預先存有一定量的氣體。這些氣俸的存在，使系統的極限壓力究竟能達到什么程度呢？
　　
　　我們假定原有氣體體積為V，其中對第i種氣體的抽速為Si。從t=0開始抽氣，系統內原有的氣體假定為非吸附性的，其極限壓力為Pa，初始壓強為Pi0，
　　
　　由式(16—2)可見：若用一定抽速的泵來排除容器內原有的氣體，其壓力隨抽氣時間呈指數規律遞減。
        令V=100L，S，=100L／s，Ao=10 -1pa,p-t的關系由圖16—1給出。 　　 　　圖16.1說明系統如果沒有其它氣源，僅有原存的氣體，一定的抽速可以很快地抽走空間的氣體分子。隨著抽氣時間的增加，容器內壓力不斷降低，可以達到很低的壓力，因而它不是限制系統極限壓力的因素。重要的是在選配真空機組時要注意到對每一種原有氣體的成分都保持有一定的抽速。一般地說，選擇單一抽氣手段是不行的，必須綜合考慮，全面地搭配，才能達到目的。為了解決這個問題，也可以使用沖洗系統中原有氣體的方法，即用一種容易被機組排除的氣體反復地沖洗系統以置換掉機組難以排除的氣體，也有助于降低極限壓力。但由于系統本身的泄漏、滲透、放氣以及化學反應等，還有可能繼續產生這種氣體，沖洗系統的方法只能在系統開始啟動時使用，如果機組對這種氣體沒有一定的抽速，也會因這種氣體分壓力的升高而影響系統的極限壓力。