極高真空系統達到極限壓力的穩態平衡方程式：

　　

　　式中  p-系統的極限壓力[Pa]；
　　
　　Pa——系統內原有的氣體被泵抽除后達到的平衡壓力[Pa]；
　　　
        Qt-系統中P種氣體的漏率[Pa．L/s]；
　　
　　Qi-系統中i種氣體的放氣率[Pa．L/s]；
　　
　　Se-系統對P種氣體的抽速[L/s]；
　　
　　Si-系統對f種氣體的抽速[ L/s]；
　　
　　Pj——泵對ji種氣體的極限壓力[Pa]；
　　
　　Uj-泵與真空室的連接管道對j種氣體的流導[L／S]；
　　
　　Sj-泵對Ji種氣體的抽速[ L/s]。

        式(16-1)等號右邊第二項表示漏氣對極限壓力的貢獻，第三項表示各種放氣源對極限壓力的貢獻，第四項表示和極高真空室相連的泵（極限壓力為Pj）所產生的返流氣體對極限壓力的貢獻。
　　
　　由式(16-1)可見：欲使p達到極高真空，其中每一項的值至少都要達到極高真空的量級。
　　
　　而每一項又是由許多項分壓力之和而來。極高真空的抽氣泵對氣體具有選擇性，總壓力必須用分壓力的和來表示。因此，對氣源必須進行個別的分析，即不僅要知道氣體量，而且要知道放氣成分。這是和一般真空系統不同的一點。泵的選擇也要根據放氣量及放氣成分來考慮，二者不可偏廢。