離子氮化生產設備簡圖如圖10-120所示。各組件用途簡要說明如下：氣瓶1是氣源，使用氫氮混合氣或單獨使用液態氨都可以。使用氨氣時，可以預先熱分解，也可以直接使用，后者經濟。使用氮氫混合氣時，工作壓力要比單獨使用氨氣時大1倍~2倍，否則氮化層硬度不高。氣體調節閥2用來以調整及穩定氣體流量。浮子式流量計3用以測定氣體流量。真空閥門9用來調節氣體流量及壓力。關閉真空泵12時，必須先關閉閥門9，然后將三通真空閥10接通大氣，避免泵油倒流入真空室7內。陽極6的形狀及尺寸根據零件的外形來選定，可以用金屬絲網或金屬板材、管材做成，陽極材料以鋼為主。金屬絲網透氣性好，并能看到零件上的輝光全貌，但易變形，影響氮化質量。真空室7及底座做成雙層，夾層內通水冷卻，保護密封橡皮。真空罩上要設置兩個以上的觀察窗，以便觀察零件氮化過程中的輝光情況，便于調整氣流及加熱功率。另外在試用新氮化夾具時，觀察其使用性能，便于修正。熱電偶14用以測量零件溫度。陰陽極電源接線柱及觀察窗都需要用真空橡皮圈密封。總裝后，整個真空系統的極限真空應高于13Pa。U形水銀壓力計8（或用麥氏真空計）用來測量真空室內氣體壓力。熱偶規11用來測雖真空室內壓力小于53Pa時的真空度。當真空室內供氣壓力大于53Pa時，熱偶真空計就讀不出壓力數值了，此時就必須用U形水銀壓力計8測量。旋片式真空泵12用來抽真空和維持真空室內需要的壓力。真空泵用1號真空泵油，它必須及時更換，否則會使真空泵達不到額定的極限真空值。測溫毫伏計15用來指示和控制氮化溫度。控制箱16用以供給輝光氮化所需的電能，自動防止電弧放電，或自動滅弧并重新產生輝光的裝置。吊車13用來啟閉真空罩。整個氣源管道用不銹鋼做成，也能用普通無縫鋼管，但容易生銹。有的地方可以用真空橡皮管或輸血乳膠管連接。但是當使用乳膠管時，管內必須放置金屬絲螺旋骨架，以防止低真空時被大氣壓扁而阻塞氣流。乳膠管易老化，需要定期更換。真空室上的排氣口，一定要高出氮化零件所處位置100mm左右。