氣體熱沖洗和間斷排氣新工藝概述
發布時間:2019-05-07 21:21:17 | 人感興趣 | 評分:3 | 收藏:
為了解決常用工藝存在的問題,研究了氣體熱沖洗和間斷排氣新工藝。新工藝的特點是,抽氣前先采用氣體熱沖洗工藝進行預處理。抽氣過程中再采用間斷的排氣方法。
氣體熱沖洗的主要目的是,利用易脫附的無害干燥氣體多次充入容器內,去置換出不易脫附的水蒸氣和空間內有害氣體氧等,使容器在抽空前,空間的和材料表面吸附的及吸附劑吸附的氣體成分變為充人氣體成分。
氣體熱沖洗的另一個目的足,在空氣預熱的基礎上,進一步利用充入高壓力的無害氣體的分子傳熱作用,使絕熱材料和吸附劑在抽氣前迅速均勻地升高到允許的z*高除氣溫度。
實驗證明,氫、氦、氮、氬作為充人氣體都有一定的效果,其中氫、氦的效果比氮好,氬比氮差。考慮到氮氣來源方便,使用安全可靠,z*適宜作充入氣體。
氣體熱沖洗的工藝步驟是,容器先在空氣中預加熱到80℃,然后用機械泵預抽,在真空度達到10 -1Pa—20Pa時,緩慢地將選擇好的氣體充人。在上述預抽過程和充人氣體的情況下,繼續加熱升溫達到允許的溫度,并根據具體情況重復上述步驟進行2~4次氣體熱沖洗。在達到充氣目的后進行正式抽氣。
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