輝光離子氮化工藝始于20世紀60年代末期，當時的西德和瑞士s*先將此工藝用在槍炮內膛的氮化上，可提高壽命達三倍，后來美國及日本相繼將輝光離子加熱原理用于氮化、燒結、釬焊等方面。我國于20世紀60年代末開始研究，用此技術來改善零件表面性能。
　　
　　離子氮化與一般氣體氮化相比，具有如下特點：
　　
　　①離子氮化時間能縮短到氣體氮化的1/4～1/2。以38CrMoAIA鋼為例，一般要達到0.53mm—0.7mm，氮化層硬度HRN15≥92時，氣體氮化持續時間需70h左右；而離子氮化只需15h—20h。又如4Cr14Ni14W2Mo鋼，要達到0.09mm～0. 12mm，HRN15≥80時，氣體氮化時間需47h，而離子氮化只需15h—20h。
　　
　　②零件的氮化表面形成單相結合層，而其脆性均為一級，所以零件在使用及磨削加工時，不會脆裂。因此，無需對已氮化表面為除脆性層而進行磨削加工，縮短加工周期。
　　
　　③離子氮化時，只對要求氮化的表面進行離子轟擊，故只有氮化表面加溫到氮化溫度，非氮化表面溫度較低，加之在氮化過程中，加溫、保溫、冷卻所用的時間短，因而有利于減少零件的變形。對于一些幾何形狀復雜、尺寸精度要求高的氮化零件，采用離子氮化更為優越。基于同一原因，使離子氮化設備功率小，且氮化時間短，故總的電能消耗只有一般氣體氮化的1/5—1/2。
　　
　　④氣體氮化時，加熱爐內氨氣壓力一定要大于105Pa;而離子氮化時，真空室內氨氣壓力只要求2.6X102Pa—1.3×103Pa，所耗氨氣僅為氣體氮化的1/5—1/20。
　　
　　⑤離子氮化的加熱及冷卻時間約為一般氣體氮化的1/10。
　　
　　⑥有些局部氮化零件，如曲軸后半部、連軸套、支撐圈、排氣門等，可以省去鍍錫、鍍鎳工序。
　　
　　⑦可省去氮化前零件表面的繁雜清理工序。由于氮離子轟擊零件表面，它能還原高合金鋼表面的氧化膜，不需要在氮化前對氮化表面進行噴砂、化學腐蝕，或在爐內撒放氯化銨。
　　
　　⑧改善了勞動條件，基本上沒有氨氣臭味。
　　
　　離子氮化雖然有上述優點，但也有其不足之處，如：
　　
　　①離子氮化所使用的設備，較一般氣體氮化的設備復雜些，操作不當時易損壞。
　　
　　②離子氮化時，每一種氮化零件均要配置專用夾具，裝爐量少。
　　
　　③對操作人員要求具備真空、高電壓、輝光原理等方面的專業知識。
　　
　　根據離子氮化特點，可應用于各類齒輪、槍炮管、活塞銷、氣門、曲軸、襯套、氣缸等氮化上。