抽空加熱排氣工藝這是一種普遍用于擴散泵系統獲得超高真空的排氣方法。它與單純排氣工藝不同的是，在抽氣到低真空或高真空時，容器進行加熱除氣。低溫容器的加熱方法可分為內加熱和外加熱及內外全面加熱。其中低真空時的全面加熱抽氣效果較好。
　　
　　低溫容器采用該工藝排氣時，要比單純排氣工藝所需要的抽氣時間有數量級的縮短，而且吸附劑活化要好一些。因此它是從多層絕熱問世以來，一直到20世絕70年代初被普遍采用的排氣方法。
　　
　　該工藝效果較好的原因是溫度作用：①提高材料溫度后，可縮短分子在表面的吸附時間，增加材料內部氣體的擴散系數，大大加速絕熱材料和吸附劑的放氣過程。②提高溫度，除了使擴散系數增加之外，還因絕熱層內的材料放氣加快，層與層和空間的壓差也增大，從而使絕熱層的滲透量增加，提高了“滲透抽氣”能力。③當空間氣體分子的溫度升高時，分子運動速度加快，穿過絕熱層窄縫抽氣通道和抽氣嘴的能力增大，使絕熱層和抽氣口的流導稍有增加。
　　
　　該工藝存在的問題是：①加熱是在抽氣過程中進行的。由于容器的超絕熱性能，加熱非常困難，使得絕熱材料和吸附劑升溫到允許z*高溫度的時間長，而且溫度分布不均勻，限制了述溫度作用的影響。②未能解決前述的水蒸氣抽出困難的問題。③抽氣時間長。④吸附劑再活化困難。⑤存在油蒸氣返流的影響。