真空中加熱的快速冷卻方法有好幾種，有用氮氣等惰性氣體冷卻，也有用油和水冷卻。能夠進行真空淬火的材料有：空氣淬火用的鋼、各種高速工具鋼、油淬火用的工具鋼、不銹鋼、鎳合金和鈦合金等。表10-72內所示為美國海斯公司推薦的各種鋼材的真空度和淬火方法。表內真空度一欄中，（低）表示只用旋轉泵，（中）表示使用羅茨增壓泵，（高）表示與擴散泵并用。





　　從表中可以看到，對耐沖擊的合金工具鋼(SKS4)、油淬火工具鋼(SKS21)、油淬火結構鋼(SCM4、SNCM8)和軸承鋼(SUJ2)等來說，真空度在10Pa—10-1Pa就可以了，不需使用擴散泵，但必須用油冷。空氣淬火的合金工具鋼（冷沖模具鋼、熱沖模具鋼）為中真空度，原則上是采用氣體冷卻，但是為了縮短熱處理周期，在550℃左右可用油冷。高速鋼(W系SKH2、Mo系SKH9)由于淬火溫度屬高溫，考慮到合金元素的蒸發，不采用擴散泵抽氣，而采用中真空度。為了控制冷卻過程中碳化物的析出，油淬是比較理想的，但是美國是采用先用氣體緩冷，到1090℃后再油淬的方法。
　　
　　另外，鈦合金一般也是采用中真空，但為了從這些合金中排出氫氣，所以必須采用擴散泵，以達到高真空。淬火方法采用水冷。不銹鋼、析出硬化型合金、鐵鎳、鉆基合金等都必須在中真空下加熱，如果需要高的光亮度，則應在10-1Pa—10-2Pa的較高真空中加熱。冷卻方法一般為氣冷。