鈦、锫及其合金在高溫下與氫、氧和氮等氣體的化合力極強，因此如果在含有這類氣體的氣氛中加熱，由于吸收氫，會產生氫脆，而吸收氧和氮會產生硬化現象。但是，在普通氣氛中是不可能防止這些弊病的，為此，采用氬和氦等惰性氣體。可是這類氣氛的純度和經濟效果頗成問題，因而采用真空退火。
　　
　　這些金屬和合金真空退火的目的在于取得光亮的表面和提高脫氣效果，防止因吸收氣體使材質變壞。表10-69列出了這類金屬和合金的退火溫度。