銅的真空退火極易取得潔凈的光亮表面，而且所需的真空度在133Pa以下即可，同時退火溫度是在350℃—600℃的低溫范圍，所以爐子的制造和維護也很簡單。使用油封機械泵和機械增壓泵即可獲得所需的真空度。一旦排氣結束后，立即將真空泵與真空爐切斷，因此無需高的真空技術，操作簡單，設備費用低廉。銅在真空退火時，工件表面互相接觸，處于受壓狀態，在其接觸面上由于銅原子的擴散會產生銅原子集聚的現象，所以退火溫度希望盡量低些。