金屬在真空中退火是真空熱處理的一種。用于真空退火的金屬除一部分的鋼、銅、Be-Cu合金、K蒙乃爾合金、因科鎳X合金、埃林互合金和鈷基合金等外，還有與氣體的親和力較大的如Ti、Ta、Nb和Zr等金屬。退火時的真空度必須根據這些金屬的氧化特性進行考慮。真空退火的脫氣效果取決于爐子的加熱溫度、真空度和操作時間等工藝條件以及氣體和金屬的化合物的物理化學性能。真空退火的主要應用范圍是：
　　
　　①活性金屬、耐熱金屬的退火；
　　
　　②銅和銅合金的光亮退火；
　　
　　③磁性材料的消除應力退火；
　　
　　④真空管材料的脫氣退火；
　　
　　⑤不銹鋼的退火。
　　
　　各種材料的工作真空度和處理溫度見表10-68。