我國自20世紀60年代有了氣冷式真空熱處理爐后，才使工具鋼、高速鋼、不銹鋼和耐熱合金鋼能進行真空淬火處理。到70年代又相繼研制出油冷式真空熱處理爐，水冷式真空熱處理爐，這樣更擴大了對鋼材料和零件的真空熱處理范圍。
　　
　　航空航天及計算機事業的發展，促進了真空熱處理技術的發展，國內相繼研制成功了不同類型的真空熱處理爐，用于科研和生產中。
　　
　　真空是一種良好的保護氣氛，熱處理后的零件表面光亮，這是真空熱處理的z*大優點。此外，真空熱處理還有以下一些獨特的優點：
　　
　　①節省能源。很多真空熱處理設備，都可用作多種熱處理，如淬火、退火、滲碳，甚至釬焊、燒結、光亮淬火、消除應力、時效等，且機械化程度高，節省人力。
　　
　　②無公害、安全、熱處理環境好。
　　
　　③一些要求高的特殊處理技術，在真空中處理時極易掌握，成為普通的操作。
　　
　　④能把任何用油和空氣淬火的材料淬到z*高硬度，且操作簡單。
　　
　　⑤熱處理后的零件直接用于電鍍，不用除油、清洗或其它表面加工，免除了各種輔助工序。
　　
　　⑥高速鋼用真空熱處理代替鹽浴，收到非常好的效果，如增加刀具壽命，不會出現滲碳、脫碳、氧化、氫脆等問題。
　　
　　⑦真空熱處理件變形小，不容易開裂。這可能是由于加熱慢，加熱過程中內外溫差小的緣故。例如高速鋼燕尾銑刀真空加熱，隨后急劇淬火也不會發生開裂，零件采用真空油淬，其變形僅為一般油淬的1/10，熱處理后可不經加工或作少量磨削加工。
　　
　　在真空條件下加熱，換熱方式主要是熱輻射而不是對流，因此爐溫均勻，在1200℃下僅為±5℃。但真空熱處理也有缺點，主要是會導致某些工具鋼的脫碳，且冷卻速度慢，設備制造比較困難，需用貴的材料，有一定的噪聲。