提高大鋼鍛件生產中的脫氫問題，是促進鋼液真空處理的基本原因，如果鋼中氫含量過高，會導致形成白點。過去消除鋼中白點的方法是在1200℃～1400℃下對鍛件進行長時間的退火，借以降低鋼中氫的濃度，這種方法效率低，除氣不徹底。而鋼液進行真空處理除氫效果好。按質量作用定律，氫含量與氫分壓有關，即
　　
　　在煉鋼過程中，除降低氫含量外，降低氧含量也很重要。因為鋼中溶解的氧與添加的合金元素親和力較強，它們相互反應所生成的氧化物以非金屬夾雜物的形態在鋼中析出，從而影響鋼的純凈度和使用性能。因此，降低熔體上方氧分壓，也是解決這一問題的有效方法。與脫氫不同，從鋼中脫氧只是利用溶解氧與鋼中存在的碳反應而生成氣態的CO，即


　　
　　按質量定律，則


　　
　　上式表明，鋼中碳和氧的乘積與熔體上方CO分壓成正比。各種碳含量在理論上所達到的氧含量對應于CO分壓的關系如圖10-108所示。
　　
　　對鋼脫碳的常規工藝是常壓下添加鐵礦石或吹氧，只有在非常高的氧含量下才能達到低的含碳量。但是過高的氧含量會導致爐渣中氧化鐵含量增加而造成鐵的大量損失。然而采用真空處理則比較容易降低碳含量，因為真空中熔體上方的CO分壓較低。所以經過真空處理過的變壓器鋼、奧氏體不銹鋼均比常規生產的同類鋼種有較高的質量。
　　
　　硫在鋼中的含量也與氧有關，而且常常保持著恒定的比例，即


　　
　　因此真空處理的脫氧過程也是脫硫過程。為了得到含硫量極低的鋼種，在具有較強攪拌和電弧加熱的設備中還可以采用冶錠脫硫的方法。采用了對硫有強親和力的一些元素作為脫硫劑而脫硫。各種脫硫劑的脫硫效果如圖10-109所示。