防冷焊評價試驗設備原理如圖10-70所示，主要由三部分組成：
　　
　　①預抽氣機組：由機械泵、F-450渦輪分子泵、低真空閥、液氮冷阱、活性氧化鋁擋油阱和超高真空閥組成。
　　
　　②主抽氣機組：包括兩個升華泵，抽速分別為5000L/s和1800L/s;兩個濺射離子泵抽速分別為400L/s和200L/s。
　　
　　③工作室：有效空間為552mm×700mm，由不銹鋼制成。室內有工作臺和測溫控元件。真空室一側和前法蘭各裝有玻璃觀察窗，頂部和另側裝有30芯的電引線法蘭各一個。另外還備有高壓和高頻引線法蘭及四極質譜接口。