不同的器件要根據不同的要求合理地選擇刻蝕工況，才能保證刻蝕出合格的器件。
　　
　　①對氣體軸承螺旋槽止推板上刻蝕，利用LSK-3型離子束刻蝕機選擇合理的刻蝕工況，實現了不等寬螺旋槽的刻蝕。圖10-46給出了離子束刻蝕加工的動壓氣體軸承變寬螺旋槽止推板的外形圖。表10-40給出了兩對氣體軸承止槽板的刻蝕工況。



　　
　　②聲表面波溝槽器件反射槽的離子束刻蝕，利用LSK-2型離子束刻蝕機選擇合理的刻蝕工藝，對聲表面波交通槽器件的反射槽進行離子束刻蝕。圖10-47給出了聲表面波溝槽器件結構示意圖。其工藝過程如下：
　　
　　s*先在基底上光刻成光刻膠掩膜，用光刻膠遮擋不刻蝕部分，只讓要刻蝕的溝槽部分受離子束轟擊。
　　
　　作好掩膜的基底放人離子束刻蝕機真空室內可移動的工件臺上。離子束通過“人”字形狹縫照射工件。狹縫寬度只允許離子束在每個時刻轟擊少數溝槽。移動工件臺，改變高子束在柵陣不同位置上的照射時間，便可形成所要求的槽深分布。工件臺的移動由TRS-80微機控制，用步進電機驅動。
　　
　　刻蝕的開始和結束由計算機通過快門的開關來控制。當出現故障時，計算機自動關閉快門，中止刻蝕，排除故障后可繼續刻蝕。
　　
　　刻蝕的工況是：工作壓力：6.6×10-2Pa，束流80mA，束離子加速電壓600V，加速極電壓-200V，束流密度0.6mA/c㎡，器件（鈮酸鋰）的刻蝕速率為4×10-7mm/s。
　　
　　離子束刻蝕后，去掉光刻膠，用干涉顯微鏡測量槽深。實驗表明槽深分布與理論計算是一致的。