實現工作一維深度加權刻蝕的離子束刻蝕設備，要用計算機控制系統。深度加權的刻蝕深度按照預先給定的曲線分布進行，由于離子束的強度是恒定的，離子源的位置也是固定的，而工件臺相對于離子源作一維平移，所以控制工件的刻蝕深度即轉化為控制工件在各個不同位置的刻蝕時間。
　　
　　計算機TRS-80先按給定的數據模型計算出對應于工件每個位置所需的刻蝕時間，并存入內存；然后控制步進電機使工件臺作一維方向的平移，每移動一定的距離，停留某一預定時間。
　　
　　在刻蝕過程中，用計算機控制，主要實現以下幾個功能：①控制刻蝕時間；②控制工件臺平移；③控制快門開、關；④巡檢束流。當配電系統的各種故障引起束流不正常時，希望保留現場，計算機處于暫停狀態，待故障排除后繼續進行刻蝕；⑤控制步進電機能正、反轉進行雙向刻蝕。