離子束刻蝕:快門時間控制器
發布時間:2019-05-07 21:29:17 | 人感興趣 | 評分:3 | 收藏:
手電兩用四桿聯動的單葉片結構快門用在LSK-2型、LSK-3型離子束刻蝕設備上。該快門電磁線圈由固定的30V電源驅動。快門動作方向由繼電器J3和J4的觸點進行切換而改變。由于快門的開和關動作要在幾秒鐘之內完成,加上電磁線圈的安匝數大,導線細,為不使線圈發熱,電磁鐵的供電電路設計了5s延時通電電路。在保證快門動作完成后,將電磁線圈斷電。這個電路由BG5、J9、BG6、J6等元件組成。快門時間控制器分手控和計算機控制的束控兩種控制方式。手控時將通過琴鍵開關直接控制BG3和BG4的基極來控制快門的開和關;外控(束控)將通過計算機以及由差動式比較器BG307連接成的窗口鑒別器送出的信號電壓控制BG1和BG2的基極控制快門的開和關。
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